利用O3分子吸收254nm紫外光前后而产生不同强弱电响应的原理进行空气中O3浓度的监测。它采用发射波长为254nm的紫外灯照射一中空玻璃管，通过电磁阀切换，玻璃管内交替充满样气和被涤除O3的参比气。样气与涤除O3的参比气的光强比值为I/I0,通过此值，利用朗伯-比尔公式即可计算出O3的浓度。